單晶爐配件之石墨熱場的選購

單晶爐配件之石墨熱場的選購
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  直拉單晶製造法（Czochralski，CZ法）是把原料多矽晶塊放入石英坩堝中，在單晶爐中加熱融化 ，再將一根直徑隻有12mm的棒狀晶種（稱籽晶）浸入融液中。在合適的溫度下，融液中的矽原子會(hui) 順著晶種的矽原子排列結構在固液交界麵上形成規則的結晶，成為(wei) 單晶體(ti) 。把晶種慢慢旋轉並向上提升，融液中的矽原子會(hui) 在前麵形成的單晶體(ti) 上繼續結晶，並延續其規則的原子排列結構。若整個(ge) 結晶環境穩定，就可以周而複始地形成結晶，最後形成一根圓柱形的原子排列整齊的矽單晶晶體(ti) ，即矽單晶錠。當結晶加快時，晶體(ti) 直徑會(hui) 變粗，提高升速可以使直徑變細，增加溫度能抑製結晶速度。反之，若結晶變慢，直徑變細，則通過降低拉速和降溫去控製。拉晶開始，先引出一定長度，直徑為(wei) 3～5mm的細頸，以消除結晶位錯，這個(ge) 過程叫做引晶。然後放大單晶體(ti) 直徑至工藝要求，進入等徑階段，直至大部分矽融液都結晶成單晶錠，隻剩下少量剩料。停爐後取出單晶棒，一個(ge) 工藝過程結束。

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一、單晶矽石墨熱場，是一個(ge) 及物理.化學.幾何綜合理論為(wei) 一體(ti) ，專(zhuan) 門研究人員經過多年反複考證。多年經驗總結製定。
二、熱場采用細結構中粗石墨做爐底護盤.保溫罩.上下蓋。采用進口等靜壓石墨做加熱器.坩堝.導流筒.托杆.鍋托等，保證了石墨坩堝的強度.及純度。
三、熱場是單晶矽成晶的重要條件之一，熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶，以及拉製單晶的質量好壞，其材質好壞直接影響熱場壽命。本公司與(yu) 中國最早生產(chan) 單晶矽企業(ye) 合作十幾年。合作結合國內(nei) 外石墨材料一同研製成功18-22寸石墨熱場，成立了自己的石墨熱場本公司的石墨熱場經過晶龍集團.常州天合.河北逐鹿單晶矽生產(chan) 基地。長期應用，對所用石墨材料及整個(ge) 熱場壽命加以肯定。為(wei) 以後生產(chan) 特製定如下標準。