石墨舟的工作原理是什麽
發布時間:2022-02-16 10:34:36
石墨舟工作原理:
空氣通過高效過濾後,阻尼層均壓,使潔淨的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區,從(cong) 而保證了工作區內(nei) 達到工藝要求的潔淨度,操作人員在潔淨的環境中往石墨舟上裝矽片。
石墨舟主要特點:
1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、PECVD承載車在裏麵可傾(qing) 斜15度或旋轉180度;
3、采用不鏽鋼製造,整機結構堅固可靠;
4、淨化風機噪音小於(yu) 50dB。
5、采用GK係列高效空氣過濾器3隻;
6、保證了工作區內(nei) 達到工藝要求的潔淨度100級。
石墨舟裝片房:用於(yu) 太陽能行業(ye) 與(yu) PECVD承載車配套、裝取矽片、配製中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達到淨化要求。