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單晶爐石墨熱場都有哪些主要組件?

作者:https://www.jjswasset.com 發布時間:2023-02-14 11:39:05

  在太陽能光伏產(chan) 業(ye) 中,單晶矽的質量直接關(guan) 係到單晶矽的質量。合格的熱場可以生長出高質量的單晶,所以創造良好的熱場條件在直拉單晶技術中有一個(ge) 非常重要的因素。石墨是單晶生長的載體(ti) 。在直拉單晶生長爐中,高純石墨和等靜壓石墨是主要的石墨工件。

  根據實際情況的需要,熱場的大小按應時坩堝的直徑來劃分。目前我國熱場從(cong) φ 12”到φ 28”不等,一般情況下以φ 18”到φ 22”居多。

  我們(men) 這裏說的單晶爐的熱係統就是所謂的熱場,一般包括壓環、保溫罩、上、中、下保溫罩、(三瓣)石墨坩堝、坩堝支撐杆、坩堝托盤、電極、加熱器、導流管、石墨螺栓。為(wei) 了防止以後漏矽,爐底、金屬電極、支撐杆都配有保護板和保護套。

1、保溫罩

保溫罩分為(wei) 上保溫罩、中保溫罩和下保溫罩,保溫罩由保溫筒外包裹石墨碳氈構成,石墨碳氈包裹的層數視情況而定。下保溫蓋構成底部保溫係統,用於(yu) 加強鍋底保溫,提高鍋底溫度,減少熱量損失。

2、絕緣蓋和通風管

絕緣罩由絕緣上罩、絕緣碳氈和絕緣下罩組成,即兩(liang) 層環形石墨中間夾有一層石墨碳氈。導流管主要用於(yu) 控製熱場的溫度梯度,並在以後引導氬氣流動。

3、壓力環

石墨壓環是由若幹圓弧組成的圓形石墨片,放置在蓋板與(yu) 爐壁的接觸處,防止熱量和氣體(ti) 通過壁爐與(yu) 蓋板之間的縫隙。

4、加熱器

加熱器是熱場中非常重要的一部分,是直接加熱體(ti) ,溫度高的時候可以達到1600度以上。常見的加熱器有圓柱形、杯形和螺旋形三種形狀。一般來說,加熱器由高純度石墨製成。

5、石墨電極

石墨電極的作用是穩定地固定加熱器,並通過其他加熱器輸送電流。所以電極要厚,耐用,光滑平整,保證良好的接觸麵。通電時不打火,石墨電極也是用高純石墨加工的。

6、石墨坩堝、石墨支撐杆和石墨托盤

坩堝支撐杆、坩堝和托盤共同構成石墨坩堝的支撐體(ti) ,應與(yu) 下軸結合牢固。當下軸轉動時,中性好,擺率小於(yu) 等於(yu) 0.5毫米的石墨支撐體(ti) 的高度可以調節。